關於硅片製作的過程
硅片製作分為七步驟。
1、 硅棒粘接:用粘接劑對硅棒和碳板進行粘接,以利於牢固的固定在切割機上和方位角的確定。
2、 切片:主要利用內圓切割機或線切割機進行切割,以獲得達到其加工要求的厚度,X、Y方向角,曲翹度的薄硅片。
3、 面方位測定:利用X射線光機對所加工出的硅片或線切割前要加工的硅棒測定其X、Y方位角,以保證所加工的硅片的X、Y方位角符合產品加工要求。
4、 倒角前清洗:主要利用熱鹼溶液和超聲波對已切成的硅片進行表面清洗,以去除硅片表面的粘接劑、有機物和硅粉等。
5、 倒角:用不同的砥石形狀和粒度來加工出符合加工要求的倒角幅值、倒角角度等,以減少後續加工過程中可能產生的崩邊、晶格缺陷、處延生長和塗膠工藝中所造成的表面層的厚度不均勻分佈。
6、 厚度分類:為後續的磨片加工工藝提供厚度相對均勻的硅片分類,防止磨片中的厚度不均勻所造成的碎片等。
7、 磨片:去除切片過程中所產生的切痕和表面損傷。
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