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光刻機什麼梗

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光刻機什麼梗

光刻機(MaskAligner)又名:掩模對準曝光機,曝光系統,光刻系統等,是製造芯片的核心裝備。它採用類似照片沖印的技術,把掩膜版上的精細圖形通過光線的曝光印製到硅片上。

光刻機一般根據操作的簡便性分為三種,手動、半自動、全自動。

A手動:指的是對準的調節方式,是通過手調旋鈕改變它的X軸,Y軸和thita角度來完成對準,對準精度可想而知不高了。

B半自動:指的是對準可以通過電動軸根據CCD的進行定位調諧。

C自動:指的是從基板的上載下載,曝光時長和循環都是通過程序控制,自動光刻機主要是滿足工廠對於處理量的需要。

標籤:光刻機