光刻膠是什麼材料

光刻膠材料是一種有機化合物，它被紫外光曝光後，在顯影溶液中的溶解度會發生變化。硅片製造中所用的光刻膠以液態塗在硅片表面，而後被幹燥成膠膜。1954年由明斯克等人首先研究成功的聚乙烯醇肉桂酸脂就是用於印刷工業的，以後才用於電子工業。

光刻膠是微電子技術中微細圖形加工的關鍵材料之一，特別是近年來大規模和超大規模集成電路的發展，更是大大促進了光刻膠的研究開發和應用。印刷工業是光刻膠應用的另一重要領域。