真空泵有哪幾種

真空泵的分類：

按工作原理分類：

1、氣體輸送泵，包括變容真空泵、動量傳輸泵；

2、氣體捕集泵，包括吸附泵、吸氣劑泵、吸氣劑離子泵、低温泵。

按真空度分類：

1、粗真空度；

2、高真空度，包括滑閥式真空泵、旋片式真空泵、羅茨真空泵；

3、超高真空度。