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上海微电子装备有限公司公司坐落于张江高科技园区内，邻近国家集成电路产业基地、国家半导体照明产业基地和国家863信息安全成果产业化基地等多个国家级基地。公司成立于2002年，主要致力于大规模工业生产的投影光刻机研...