鹽酸能用於幹法刻蝕嗎

鹽酸能用於幹法刻蝕，因為在非酸性乙酰丙酮中，第三族氮化物和碳化硅很難濕法蝕刻，通常使用幹法蝕刻。幹法刻蝕的刻蝕劑是等離子體，是利用等離子體和表面薄膜反應，形成揮發性物質，或直接轟擊薄膜表面使之被腐蝕的工藝。鹽酸是氯化氫的水溶液，工業用途廣泛。鹽酸的性狀為無色透明的液體，有強烈的刺鼻氣味，具有較高的腐蝕性。濃鹽酸具有極強的揮發性，因此盛有濃鹽酸的容器打開後，氯化氫氣體會揮發，與空氣中的水蒸氣結合產生鹽酸小液滴。