PECVD的知識 PECVD列表百科專為您提供PECVD精彩內容，PECVD優質知識，PECVD相關的百科知識點，讓生活的精彩從PECVD開始，我們為您分享生活中的小竅門，生活中的小知識，健康小知識，健康養生知識，快快來看吧。 首頁 > PECVD的知識 PECVD是什麼 等離子體增強化學的氣相沉積法。實驗機理：藉助微波或射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學活性很強，很容易發生反應，在基片上沉積出所期望的薄膜。優點：基本温度低；沉積速率快；成膜質量好，針...
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